Автоматический контроль температуры и влажности
Температура и влажность чистого помещения в основном определяются в соответствии с технологическими требованиями, но при условии соблюдения технологических требований следует учитывать комфорт человека.С ростом требований к чистоте воздуха наблюдается тенденция к тому, что к процессу предъявляются все более строгие требования к температуре и влажности.
Поскольку точность обработки становится все выше и выше, требования к диапазону колебаний температуры становятся все меньше и меньше.Например, в процессе экспонирования литографии при производстве крупномасштабных интегральных схем разница между коэффициентом теплового расширения стекла и кремниевой пластины, являющейся материалом диафрагмы, должна быть все меньше и меньше.Кремниевая пластина диаметром 100 мкм вызовет линейное расширение 0,24 мкм при повышении температуры на 1 градус.Поэтому он должен иметь постоянную температуру ±0,1 градуса.В то же время значение влажности, как правило, должно быть низким, потому что после того, как человек потеет, продукт будет загрязнен, особенно для полупроводниковых цехов, которые боятся натрия, такая чистая мастерская не должна превышать 25 градусов.
Повышенная влажность вызывает больше проблем.Когда относительная влажность превышает 55 %, на стенках трубы охлаждающей воды образуется конденсат.Если это произойдет в прецизионном устройстве или цепи, это приведет к различным авариям.Легко ржаветь при относительной влажности 50%.Кроме того, когда влажность слишком высока, пыль на поверхности кремниевой пластины будет химически адсорбироваться молекулами воды из воздуха на поверхность, и ее будет трудно удалить.Чем выше относительная влажность, тем труднее удалить налипание, но при относительной влажности ниже 30% частицы также легко адсорбируются на поверхности из-за действия электростатической силы и большого количества полупроводников. устройства склонны к поломкам.Лучший температурный диапазон для производства кремниевых пластин составляет 35–45%.
